半导体制程生产中会用到大量的有毒腐蚀性易燃的特殊气体、化学品和有机溶剂等原材料，这些物质所产生的废气在冗长的排气过程中，因其气体性质可能会引发风管堵塞、管路腐蚀等，导致气体泄漏、火灾爆炸等事故，所以应先在就近的小型尾气处理设备（Local Scrubber）进行处理，后再进入中央处理系统处理。

小型尾气处理设备（Local Scrubber）根据处理废气方式，大致分四类：水洗式、氧化式、吸附式和等离子燃烧式，今天给大家介绍的是吸附式尾气处理设备，和该设备中设计、结构和功能上的“安全”。

半导体吸附式尾气处理设备

吸附式尾气处理设备设计上：

1.小型尾气处理设备（Local Scrubber）设计初衷是为了查漏补缺和应急使用，保护环境和人员安全。

2.以吸附桶完全处理设备尾气，确保尾气处理的安全性处理过程中没有危害；

3.在无尘室内不产生火源，没有明火，可以减少事故的发生；

吸附式尾气处理设备结构上：

半导体吸附式尾气处理设备